高精密對(duì)位平臺(tái)

公司源自臺(tái)灣技術(shù)團(tuán)隊(duì)研發(fā)的只有品牌"YARAK"高精密對(duì)位平臺(tái)在高端設(shè)備上已得到廣泛的推薦和使用。產(chǎn)品規(guī)格涵蓋150mm、160mm、180mm、200mm、250mm、350mm、450mm、550mm，更大盤(pán)面尺寸我們可按要求定制。

XXY對(duì)準(zhǔn)平臺(tái)，也稱為XYθ（Theta）平臺(tái)或UVW對(duì)位平臺(tái)，專為高精度對(duì)位設(shè)備而設(shè)計(jì)，它在XY平面中移動(dòng)并圍繞XY平面的中心旋轉(zhuǎn)。我們提供常規(guī)的8種型號(hào)的XXY對(duì)位平臺(tái)，小尺寸的重復(fù)定位精度為2μm，大規(guī)格的為3μm，這些型號(hào)的線性行程為±5 mm，大尺寸的可達(dá)±10mm。另外，XXY平臺(tái)可以圍繞XY平面的中心旋轉(zhuǎn)到±3°，水平負(fù)載從15KG到100KG。

XXY對(duì)位平臺(tái)特點(diǎn)：

• 尺寸結(jié)構(gòu)多樣化， XXY對(duì)位平臺(tái)現(xiàn)有空心及實(shí)心兩種設(shè)計(jì)，可滿足用戶不同的設(shè)計(jì)需求

• 薄型設(shè)計(jì)節(jié)省空間-采用Mini stage XYθ模塊化結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)無(wú)中座的薄且輕的機(jī)構(gòu)

• 透過(guò)特殊交叉滾柱軸承施加預(yù)壓,達(dá)高剛性、高精度

• 中空結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y(cè)試器使用

• 在各運(yùn)動(dòng)軌道加入潤(rùn)滑系統(tǒng)，提高對(duì)位平臺(tái)使用的壽命及精度

• 材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命,質(zhì)量及效能

• 高精度、高剛性、穩(wěn)定性保障，實(shí)行三次元全檢,保證滑臺(tái)出廠精度與質(zhì)量

• 可水平或倒置安裝

XXY對(duì)位平臺(tái)（uvw對(duì)位平臺(tái)） 、視覺(jué)對(duì)位平臺(tái)廣泛應(yīng)用于光學(xué)測(cè)量?jī)x器，晶圓對(duì)準(zhǔn)，LCD面板檢測(cè)，半導(dǎo)體處理，激光切割和鉆孔，復(fù)合機(jī)等領(lǐng)域。